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新型分析儀器:光譜橢偏成像系統(tǒng)研制成功

來源: 中國化工儀器網(wǎng)  類別:行業(yè)動(dòng)態(tài)  更新時(shí)間:2009-07-30  閱讀次

    在中國科學(xué)院重大科研裝備研制項(xiàng)目的資助下,力學(xué)所國家微重力實(shí)驗(yàn)室靳剛課題組成功研制出“光譜橢偏成像系統(tǒng)”及其實(shí)用化樣機(jī)。

    該研究是利用高靈敏的光學(xué)橢偏測量術(shù),同時(shí)結(jié)合光譜性能及數(shù)字成像技術(shù),具有對(duì)復(fù)雜二維分布的納米層構(gòu)薄膜樣品的快速光譜成像定量測量能力。在中科院專家組對(duì)儀器性能和各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行現(xiàn)場測試的基礎(chǔ)上,4月1日,驗(yàn)收專家組一致認(rèn)為:系統(tǒng)為復(fù)雜橫向結(jié)構(gòu)的大面積多層納米薄膜樣品的快速表征和物性分析提供了有效手段,是一種納米薄膜三維結(jié)構(gòu)表征的新方法。

    光譜橢偏成像系統(tǒng)的特點(diǎn)在于:信息量大,可同時(shí)測量大面積樣品上各微區(qū)的連續(xù)光譜橢偏參數(shù),從而可以獲得相關(guān)材料物理參數(shù)(如厚度、介電函數(shù)、表面微粗糙度、合成材料中的組分比例等)及其空間分布;空間分辨率高,對(duì)納米薄膜的縱向分辨和重復(fù)性均達(dá)到0.1nm、橫向分辨達(dá)到微米量級(jí);檢測速度快,單波長下獲得圖像視場內(nèi)各微區(qū)(42萬像素以上)的橢偏參量(ψ和Δ)的采樣時(shí)間達(dá)到7秒,比機(jī)械掃描式光譜橢偏儀提高2-3個(gè)量級(jí);結(jié)果直觀,形成視場內(nèi)對(duì)比測量,可準(zhǔn)確定位和排除偽信號(hào),這是單光束光譜橢偏儀所不具備的;并且系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,操作簡便。

    該系統(tǒng)既可應(yīng)用于單光束光譜橢偏儀所覆蓋的領(lǐng)域,也可應(yīng)用于單波長或分立波長的橢偏成像儀所涉及的領(lǐng)域,適合同時(shí)需要高空間分辨和光譜分辨測量的納米薄膜器件測量的場合,這將為橢偏測量開拓新的應(yīng)用方向。已成功應(yīng)用于“863”項(xiàng)目“針對(duì)腫瘤標(biāo)志譜無標(biāo)記檢測蛋白質(zhì)微陣列生物傳感器的研制”等研究工作中,并將在微/納制造、生物膜構(gòu)造、新型電子器件、生物芯片及高密度存儲(chǔ)器件等領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。

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